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氟塑料（PFA/PVDF)

PFA（可溶性聚四氟乙烯）板棒因其優(yōu)異的化學穩(wěn)定性、高純度和耐極端環(huán)境特性，已成為半導體制造中不可或缺的功能性材料，主要應用于以下環(huán)節(jié)：

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一、

濕法工藝設備組件


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蝕刻/清洗花籃與支架?：PFA板棒制成吊籃、卡夾等承載工具，在氫氟酸、硝酸混合液（25℃–130℃）中穩(wěn)定固定晶圓，避免金屬污染同時承受強腐蝕介質(zhì)。

管道與閥門：高純度PFA制成的流體輸送系統(tǒng)能防止顆粒析出，滿足SEMI F57標準對超純水系統(tǒng)的潔凈度要求。

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二、

晶圓承載與固定




PFA晶圓支架.jpg

載具與夾具：PFA板棒加工的晶圓支架可在高溫（-200℃至260℃）環(huán)境下保持尺寸穩(wěn)定性，避免熱變形導致的微影對準偏差。

真空吸盤墊片：其低釋氣特性（總質(zhì)量損失TML<0.1%）符合高真空光刻機需求。

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三、

特殊環(huán)境防護



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CMP（化學機械拋光）設備：PFA擋板可阻隔拋光液飛濺，延長設備壽命。

反應腔室內(nèi)襯：PFA板棒加工的內(nèi)襯可耐受200℃高溫下的Cl?/Ar等離子體持續(xù)沖刷，且能承受每日20次以上的冷熱循環(huán)沖擊，有效減少顆粒釋放和電弧放電風險。

綜上所述，PFA板棒憑借其卓越的耐腐蝕性、高純度和熱穩(wěn)定性，在半導體制造的關鍵環(huán)節(jié)中發(fā)揮著不可替代的作用。隨著半導體工藝向更精細制程發(fā)展，PFA材料的性能優(yōu)化將持續(xù)推動行業(yè)技術進步，為晶圓生產(chǎn)的可靠性與良率提升提供堅實保障。未來，PFA板棒在新型工藝設備與綠色制造中的應用潛力值得進一步探索。


我們致力于在以客戶為中心、產(chǎn)品質(zhì)量、流程和管理方面持續(xù)改進。

作為一家獲得 ISO 認證、符合 REACH 標準的組織，我們致力于為所有客戶、員工和投資者提供有保證的優(yōu)質(zhì)服務。 質(zhì)量保證始于選擇提供高質(zhì)量產(chǎn)品的認證原材料供應商。它還延伸到我們所有的流程和技術，直到對產(chǎn)品進行最終的質(zhì)量保證測試。在全面的服務和接受一流培訓的員工之間，像您這樣的客戶將獲得所需的支持，以確保項目成功。

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我們理解不同的行業(yè)與應用所需的質(zhì)量措施也不盡相同。優(yōu)化工藝，投資于先進技術，始終遵循良好生產(chǎn)規(guī)范 (GMP)，我們通過這些措施來運用良好的技術，以滿足客戶需求。

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我們有能力在精度較高的模擬環(huán)境中對材料進行測試、原型制作和調(diào)整，從而為客戶提供具有針對性、快速、合適且專有的解決方案。從項目咨詢到材料選擇與加工，再到物流、售后支持及合規(guī)/投訴管理，我們先進的服務在各個環(huán)節(jié)都能提供所需的支持。

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